什么是MEMS？
| MEMS是英文Micro Electro Mechanical systems的缩写，即微电子机械系统。微电子机械系统(MEMS)技术是建立在微米/纳米技术（micro/nanotechnology）基础上的21世纪前沿技术，是指对微米/纳米材料进行设计、加工、制造、测量和控制的技术。它可将机械构件、光学系统、驱动部件、电控系统集成为一个整体单元的微型系统。这种 微电子机械系统不仅能够采集、处理与发送信息或指令，还能够按照所获取的信息自主地或根据外部的指令采取行动。它用微电子技术和微加工技术(包括硅体微加工、硅表面微加工、LIGA和晶片键合等技术)相结合的制造工艺，制造出各种性能优异、价格低廉、微型化的传感器、执行器、驱动器和微系统。 微电子机械系统（MEMS）是近年来发展起来的一种新型多学科交叉的技术，该技术将对未来人类生活产生革命性的影响。它涉及机械、电子、化学、物理、光学、生物、材料等多学科。 | |
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| 2011-08-16 | 麦克风技术规格和术语阐释 本应用笔记解释MEMS麦克风数据手册中出现的技术规格和术语，以便帮助设计人员将麦克风正确集成到系统之中…… |
| 2011-03-04 | 实现各种MEMS传感器的最优搭配 实现各种MEMS传感器的最优搭配 |
| 2011-03-01 | TriQuint MEMS业务2010年增长破纪录 TriQuint MEMS业务2010年增长破纪录 |
| 2011-03-01 | 一场新的消费革命——3D手势识别 在Silicon Laboratories公司展台的最显眼处，老远就看见一堆感兴趣的观众，对着一个Demo在空中将手左右挥动，不同于其他厂商流行使用的MEMS传感器，该公司利用便宜的红外和环境光传感器来识别特殊应用手势，比如通过用手指在空中划一条线开启显示器、移动图片、或者调整音量。 |
| 2011-01-11 | 使用MEMS麦克风有效改善音质 使用MEMS麦克风有效改善音质 |
| 2010-12-31 | 专注于高性能混合信号，NXP剥离声学解决方案业务 恩智浦半导体(NXP Semiconductors)和道尔公司(Dover Corporation)日前宣布签署最终协议，双方将就道尔公司旗下的楼氏电子(Knowles Electronics)收购手机市场领先的扬声器和接收器配件供应商恩智浦的声学解决方案业务。这项协议将会大大增强恩智浦的财务实力，同时可以使公司进一步集中资源发展以高性能混合信号为核心的业务。 |
| 2010-11-30 | 十速科技推出TP6706双轴陀螺仪，包含特殊运算法 十速科技全速进入MEMS系统应用领域！TP6706最新功能包含双轴陀螺仪（Gyroscope)的特殊运算法、加上3轴加速度计（G-sensor)做角度补偿运算，TP6706可搭配外部MCU产品使用，TP6707加强信号转换速度、方向灵敏度，更提供模块化设计，方便客户使用。 |
| 2010-11-30 | VTI进入MEMS晶振市场 VTI进入MEMS晶振市场 |
| 2010-11-16 | ST推出全新MEMS加速度计AIS328DQ ST推出全新MEMS加速度计AIS328DQ |
| 2010-11-12 | 欧胜微电子新推下一代MEMS麦克风WM7210和WM7220 欧胜微电子新推下一代MEMS麦克风WM7210和WM7220 |
| 2010-10-29 | ADI新推MEMS数字陀螺仪，提供16°/hr零点偏移稳定度 ADI新推MEMS数字陀螺仪，提供16°/hr零点偏移稳定度 |
| 2010-10-19 | 加速MEMS晶圆量产，GLOBALFOUNDRIES联手SVTC 加速MEMS晶圆量产，GLOBALFOUNDRIES联手SVTC |
| 2010-10-14 | 可编程全硅MEMS振荡器PK石英振荡器 时钟组件可分为无源晶振、有源晶振和多输出时钟发生器三大类产品。在过去60年中，石英作为时钟市场的主流技术，一直占据着霸主地位。但由于其受到传统制造工艺的限制以及下游原材料(起振电路和基座)市场的垄断，因此性价比无法进一步提升。为了满足电子市场对元器件提出的更小、更可靠、更灵活的需求，时钟组件必须走上全面硅化的道路。通过这篇文章，我们会全面了解全硅MEMS振荡器和传统石英的主要区别，以及全硅IC技术所解决的问题。 |
| 2010-10-14 | 可编程全硅MEMS振荡器PK石英振荡器 时钟组件可分为无源晶振、有源晶振和多输出时钟发生器三大类产品。在过去60年中，石英作为时钟市场的主流技术，一直占据着霸主地位。但由于其受到传统制造工艺的限制以及下游原材料(起振电路和基座)市场的垄断，因此性价比无法进一步提升。为了满足电子市场对元器件提出的更小、更可靠、更灵活的需求，时钟组件必须走上全面硅化的道路。通过这篇文章，我们会全面了解全硅MEMS振荡器和传统石英的主要区别，以及全硅IC技术所解决的问题。 |
| 2010-09-09 | RF MEMS有效改善智能手机天线性能？ RF MEMS有效改善智能手机天线性能？ |
| 2010-08-20 | IIC-China 2010秋季，你不得不来“30宗理由”(下) IIC-China 2010秋季展即将拉开帷幕，本次展会将会有哪些看点？《电子工程专辑》提前为您深度挖掘30个展会亮点，总有一个吸引您的眼球。 |
| 2010-08-19 | 消费电子、手机推波助澜，MEMS维持高成长 消费电子、手机推波助澜，MEMS维持高成长 |
| 2010-07-23 | MEMS恢复快速增长，哪些领域将迎来新高峰？ MEMS恢复快速增长，哪些领域将迎来新高峰？ |
| 2010-07-20 | 分析：意法半导体寄望五大战略产品线 在全球半导体TAM下降9%的情形下，欧洲半导体巨头ST(意法半导体)2009年营收虽只斩获85亿美元，但仍继续坐稳全球前五大。而从其2010年Q1财报来看，营收额达23.25亿美元，同比增长超40%，预示该公司已度过最艰难阶段，今年有望收复100亿美元大关。 |
| 2010-07-05 | ADI iSensor运动传感器产品系列新增两款产品 ADI的 iSensor(R) 运动传感器产品系列新增两款高度集成的精密 MEMS 惯性传感器 ADIS16135 和 ADIS16385，可以帮助工业设备制造商更轻松地实现稳定、导航和控制功能。新传感器既能提供战术级（<10度/小时）陀螺仪性能，同时具备 ADI 公司备受好评的 iSensor 集成度和工厂校准能力。 |
| 2010-06-28 | MEMS汽车传感器2010年强劲反弹，年底或再陷低迷 MEMS汽车传感器2010年强劲反弹，年底或再陷低迷 |
| 2010-06-09 | 业界看好MEMS市场前景 业界看好MEMS市场前景 |
| 2010-06-07 | ADI推出完全可编程的嵌入式三轴MEMS振动传感器ADIS16223 ADI推出完全可编程的嵌入式三轴MEMS振动传感器ADIS16223 |
| 2010-05-07 | SiTime的MEMS First全硅振荡器和时脉产生器销量惊人，可超2千万 SiTime的MEMS First全硅振荡器和时脉产生器销量惊人，可超2千万 |
| 2010-04-27 | MEMS厂商抢夺智能手机市场，价格战局初现端倪 MEMS厂商抢夺智能手机市场，价格战局初现端倪 |
| 2010-01-11 | 观察：中国便携式医疗设备蓄势待发 得益于中国政府新医改的推动和人民大众对健康保健的重视，以及家用与医用市场的不同特性，中国便携式/家庭医疗电子市场正快速而平稳地成长。 |
| 2009-12-31 | 用数字控制优化MEMS陀螺仪的性能 用数字控制优化MEMS陀螺仪的性能 |
| 2009-12-17 | 抢攻MEMS市场，AAC跨足非声学领域 抢攻MEMS市场，AAC跨足非声学领域 |
| 2009-11-27 | ST推出新一代微加工音响器件：创新的MEMS麦克风 ST推出新一代微加工音响器件：创新的MEMS麦克风 |
| 2009-11-25 | ST推出高性能3轴MEMS陀螺仪，集成360度角速度自由检测功能 ST推出高性能3轴MEMS陀螺仪，集成360度角速度自由检测功能 |
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